超細微零件加工
超細微零件加工技術是X射線深層光刻、微電鑄和微塑鑄三個工藝的組合。該技術的優點是能夠制造出復雜的三維微型零件，使得傳統工藝所無法做到的超小型部件成為可能。使用該技術可以加工有機高分子材料、各種純金屬和陶瓷等，并且可以利用微復制工藝進行微型零件的大批量生產。
高硬度材料超精密加工
高硬度材料一直困擾超精密加工的技術難題，例如鎢鋼、淬硬鋼、高速鋼、鈦合金、高溫合金、冷硬鑄鐵，如果加工易彎曲變形的細長軸類零件,超細微孔、薄壁零件,薄盤類零件與小徑精密螺紋以及形狀復雜、加工精度與粗糙度有較高要求的時候，很難找到有效的加工方法。不同的要求采用不同的加工工藝顯得尤其重要。
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